等離子清洗機(jī)

等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

等離子電源頻率一般有三種：40kHz及以下，13.56MHz，2.45GHz

40kHz及以下為中頻電源，中頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)。中頻等離子體（物理）清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過離子轟擊使表面清潔。以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性。中頻等離子清洗機(jī)加入適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體，可以有效去除膠質(zhì)或有機(jī)物殘?jiān)⒆隹涛g等等。

13.56MHz為射頻電源，射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)。射頻等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用，即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進(jìn)，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應(yīng)劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應(yīng)。所以很適合用來處理一些嬌嫩的材料。

為進(jìn)一步滿足客戶的實(shí)驗(yàn)工藝需求，雷博科儀特推出型號為PT500/PT1000/PT3000實(shí)驗(yàn)型等離子清洗機(jī)。

PT500等離子清洗機(jī)

PT1000等離子清洗機(jī)

PT3000等離子清洗機(jī)

雷博科儀等離子清洗機(jī)具有如下特點(diǎn)：

1. 體積小巧處理4寸及以下樣品、一鍵式操作，適用于科研院所等各種實(shí)驗(yàn)環(huán)境

2. 高效清洗，快速達(dá)成需要的表面處理工藝；

3. 13.56Mhz低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料

4. 可用于表面改性、去膠工藝、鍵合工藝等

PT系列產(chǎn)品自推出以來，得到了諸多科研院所客戶朋友的認(rèn)可，經(jīng)過一段時(shí)間的老師使用反饋，我們收集了部分課題組反饋的使用報(bào)告。

新加坡國立大學(xué)課題組使用情況：

在疊層電池的制備過程中，使用“雷博科儀”的plasma清洗機(jī)（PT500型號）對器件的功能層進(jìn)行表面改性處理，具體操作為：將樣品放置于plasma清洗機(jī)的腔室中，關(guān)好腔室門，設(shè)置好相關(guān)參數(shù)，然后點(diǎn)擊運(yùn)行。

對于單節(jié)電池，使用plasma清洗機(jī)對ITO玻璃表面進(jìn)行處理，可顯著改善ITO表面的親水性；

功率和氣流量可調(diào)，該等離子清洗機(jī)清洗效果能很好滿足需求使用；

對于單節(jié)電池，plasma處理的ITO玻璃可以獲得和UV-ozone相當(dāng)?shù)碾姵匦?/span>；

對于疊層電池中，在使用plasma清洗機(jī)處理功能層后，器件效率提升0.6%。

紫外臭氧清洗機(jī)

紫外光表面清洗技術(shù)在國際上是隨著光電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而提出來的。

2023年3月29日，四川大學(xué)趙德威教授和陳聰特聘副研究員、廈門大學(xué)唐衛(wèi)華教授、瑞士聯(lián)邦材料科學(xué)與技術(shù)研究所付帆博士等人在《Nature》發(fā)表題為“All-perovskite tandem 1 cm2 cells with improved interface quality”的研究論文，該研究表明全鈣鈦礦串聯(lián)的1平方厘米的電池，其界面質(zhì)量得到改善。

四川大學(xué)趙德威教授及廈門大學(xué)唐衛(wèi)華教授目前均在使用江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司生產(chǎn)的UC100-SE紫外臭氧清洗機(jī)。

UC100-SE紫外臭氧清洗機(jī)

UC200-SE紫外臭氧清洗機(jī)